Реестр российской промышленной продукции, ПП РФ № 719 ·
Установки индивидуальной химической обработки пластин методом полива/поверхностного спрея
Производитель: АО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ», Воронежская область
ОКПД2 28.99.20.290ТН ВЭД 8486 20Изготовлена по ЩЦМ 3.249.072 ТУ
Реестровая запись
Запись реестра российской промышленной продукции: номер, сроки, выписка.
| Реестровый номер | |
|---|---|
| Статус | Действует |
| Действует до | 26.10.2029 |
| Включена в реестр | 27.10.2026 |
| Выписка | Выписка из реестра российской промышленной продукции (ГИСП, PDF с подписью) |
Классификация
Коды продукции по общероссийским классификаторам.
| ОКПД2 | 28.99.20.290 |
|---|---|
| ТН ВЭД | 8486 20 |
| Изготовлена по | ЩЦМ 3.249.072 ТУ |
Производитель
Реквизиты предприятия по записи в перечне.
АО «НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ»
| ИНН | 3661004634 |
|---|---|
| ОГРН | 1023601530402 |
| Регион | Воронежская область |
| Юридический адрес | 394033, ВОРОНЕЖСКАЯ ОБЛАСТЬ, ВОРОНЕЖ Г., ПР-КТ ЛЕНИНСКИЙ, Д.160А |
Основание записи
Документ, по которому продукцию внесли в реестр.
| Основание | СТ-1 № 6010004050 от 27.10.2026 |
|---|---|
| Департамент | Департамент станкостроения и тяжелого машиностроения |
Что это за изделие
Описание и характеристики из каталога ГИСП. Для нацрежима действуют статус записи и официальная выписка, а не эта витрина.
| Регион производства | Воронежская область |
|---|---|
| Единица измерения | Штука |
Установка предназначена для односторонней химической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм и 150 мм с выполнением всех технологических операций на одном технологическом блоке с попеременной подачей необходимых растворов в соответствии с технологическим процессом обработки. Загрузка обрабатываемых пластин производится в ручном режиме на позицию обработки. Процесс обработки проходит в автоматическом режиме. Выгрузка пластины осуществляется в ручном режиме. Установка выполняет следующие операции: последовательная подача растворов и деионизованной воды на вращающуюся пластину; промывка пластин с использованием деионизованной воды; сушка пластин методом центрифугирования; удаление отработанных растворов из ванны через специальные каналы и сливы. Модуль подачи и подготовки обеспечивает: подачу химических реактивов; фильтрацию растворов; термическую подготовку растворов.
Характеристики
| Диапазон задания количества используемых реагентов | 2 |
|---|---|
| Диапазон задания времени обработки | 1 |
| Диапазон задания скорости вращения ротора центрифуги, не более | 10 |
| Высота | 2250 |
| Ширина | 950 |
| Длина | 1220 |
| Высота | 2000 |
| Ширина | 1200 |
| Длина | 1800 |
| Масса модуля подачи и подготовки технологических сред ЩЦМ 3.248.032, не более | 165 |
| Масса установки (без модуля подачи и подготовки технологических сред), не более | 270 |
Стандартизация
| Нормативный документ | ЩЦМ 3.249.072 ТУ |
|---|
Карточка собрана сервисом «ТоварминПРО» по выгрузке перечня ПП РФ № 719. Она помогает проверить статус и реквизиты, но не заменяет официальную выписку Минпромторга.